近两年，基于硅片厂家对金刚线切片技术导入的预期以及电池、组件技术的快速发展，干法黑硅RIE技术又逐渐进入行业视野。干法黑硅目前主要在部分一线电池厂家实现量产，如晶科、协鑫集成、中节能等，仍有继续发展的市场空间。“干法黑硅技术工艺稳定成熟，绒面结构均匀，效率提升最高，但需要新增成本较高的设备和工序。”业内专家介绍。

 

2016年5月，晶科能源表示，其采用PERC和黑硅技术的高效多晶电池已进入量产阶段，未来将量产效率提升至20.5%以上。2016年11月，中节能太阳能镇江公司宣布，其采用PERC+RIE黑硅技术的高效多晶电池实现量产，平均转换效率突破20%大关，多晶组件功率超过285W。2017年4月，比太科技发布第四代RIE干法黑硅量产设备Tysol-4000。据悉，比太科技干法黑硅设备出货量已超过1GW。2017年8月，协鑫集成自主研发的干法黑硅多晶PERC电池平均量产效率超过20.3%，最高效率达到20.8%。

 

湿法黑硅技术新增成本支出相对较小，可实现0.3-0.5%的效率提升。但该工艺采用槽式技术，与现有链式技术兼容性差，而且需要面临含银废酸的处理和地方政府环保管控问题。湿法黑硅技术的代表企业有阿特斯、保利协鑫、无锡尚德、比亚迪、苏美达等。据统计，2017年底国内湿法黑硅设备已经超过100台，产能超过10吉瓦。

 

阿特斯早在2009年开始湿法黑硅技术项目调研立项，2014年成功将该技术推广到生产线，在世界上首次实现湿法黑硅技术的产业化。目前，阿特斯量产黑硅电池平均效率超过19%，较常规多晶电池效率提升0.45%，黑硅组件输出功率提升4W。2017年底，阿特斯将具备4GW湿法黑硅产能。

 

2017年，苏美达辉伦自主《一种多晶硅表面倒金字塔结构及其制备方法》获得了发明专利。

 

2017年2月，协鑫集成多晶湿法黑硅PERC电池开始量产，湿法黑硅PERC电池平均效率已达到20%，单片最高效率达到20.5%。2017年将有1.2GW黑硅电池全面投产。

 

2017年3月，中节能太阳能与德国RCT光伏科技公司就湿法黑硅技术签署合作开发协议。2017年6月开始无锡尚德调研并确定湿法黑硅技术方案,12月，无锡尚德宣布其自主研发的湿法黑硅电池成功量产，在提升电池转换效率及组件功率方面均取得了突破性进展。

 

硅片企业为了加速推进金刚线切多晶的推广应用，也积极布局并导入黑硅技术。保利协鑫于2016年11月发布了TS系列湿法黑硅片。2017，保利协鑫重磅发布TS+系列第二代黑硅片，TS+黑硅片采用保利协鑫最新一代湿法黑硅技术，其效率更高、成本更低，更兼容高效多晶PERC技术。经验证，TS+黑硅在上一代黑硅的基础上，电池效率增益将再提升0.05-0.1个百分点，总体提升达0.3至0.4个百分点。

 

设备企业宝馨科技10月公告称，公司于近日成功研发“MCCE黑硅制绒设备”，设备主要用于金刚线切割出来的多晶硅片的制绒，能生产出具有纳米级黑硅绒面的硅片。目前已在协鑫集团得到成功应用。江苏微导纳米装备科技有限公司推出第2代RIE设备——WR5400。